铂金薄膜技术

Heraeus公司为客户提供传感器元件,微型加热器和用户定制传感器,客户可广泛选择这些产品。从SMD芯片到 PCB和DBS传感器直到复杂的多层平台芯片。

Heraeus公司通过其自身的专业知识和数十年的丰富经验可以在光刻工艺中实现厚度为3μm的铂结构。相比较一根头发丝的直径为50--100μm.

铂薄膜技术温度传感器可以看作是传统绕线型传感器二维微小的变体形式。它的导线长度和直径可以被基板上的细小回纹体所取代。制造工艺大部分都已自动化，因此结合了最新的技术，例如硅晶片的生产。

微型加热器可用于汽车工业中，例如：用于空气流量计，采暖通风与空调中的低流量应用，用于医药分析系统。其特性是响应时间短,可在极高的温度下使用,并有良好的长期稳定性。

传感器平台是安装加热系统的传感器。利用热量和温度测量电阻，并通过相应的控制来使得传感器保持恒定的温度，或保持稳定的温度周期。用于热和温度测量电阻的铂金薄膜结构置于陶瓷基板上，并覆以隔热玻璃层。在玻璃层上有一个采用厚膜技术加工的金电极，其可以利用厚膜或薄膜技术结合测量部件。这一尺寸的电极允许使用最多样的感应层或使用硅芯片。连接线采用矩形线，使得连接线的长度可高达170毫米。矩形线的设计能提供圆截面导线所不能达到的稳定性。

注：大部分平台传感器是针对客户规格要求而定制设计的部件。

在生产的第一阶段，含有精选添加物的铂在真空下被蒸汽淀积到Al2O3基板上。接着在室内洁净的状况下（要求达到洁净度等级 1000）利用光刻技术将极精细的弯曲结构或电极结构转移到空白铂基板上。在浸蚀掉多余的铂之后，传感器元件就制做完成，形成各种不同的类型。